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7.氧化和电镀,对晶圆表面进行氧化,然后电镀一定厚度的尽速布线成,实现导电迹线;
8.半导体封装,将晶圆划分为多个芯片,测试合格后进行装配封装;
大约1小时后,工程师取出未封装的晶圆,开始测试,众人开始紧张起来,看着外放的大屏幕数据。
8寸就是20厘米,这次设计的座舱芯片,大约可以切成1600多块,要将这1600块芯片检测完毕,耗时不短。
“廖老,你预估这次概率有多大?”小组中的一名专家问道。
廖锡昌并无把握,这种过程他经历了太多次,“不好说,你们也别抱太大希望,毕竟这只是第一次流片,失败再正常不过。”
“何况这台流片的光刻机是申城微电子前年的产品改装,苏硅这边的生产线也是改造的,各方面条件还比过申城微电子。”
众人明白廖老的意思,有了心理准备,内心还是希望能有奇迹发生,理论验证与实际生产之间,总是存在误差。
终于,工程师爆出了前100片的检测数据,良品率8%。
“哈哈,还不错,首次流片能有8%的良品率也算不错了,说明改进空间还很大嘛!”
廖锡昌脸上也露出了满意的表情,这个数据比申城首次流片时的数据还高了2个点,说明那份资料的可行性还是比较高的,总算是看到希望了。
“行了,也不枉我们忙活一场,大方向是没错的,只要严格按照设计标准,建立新的生产线,使用新生产的光刻机,这个比例应该能提升到30%以上。”
廖锡昌用以往的经验推断出这个结果。
然而路阳内心却非常失落,先不说资金问题,等这一切都重新做好,最起码是一年之后。
“叮……”
路阳身体一震,系统居然有反应了,检测到生产流程漏洞,“轻微震荡波动。”
这是什么鬼?有地震?
路阳赶紧走到宗仕刚身边,低声问道:“宗老,今天厂里有生产?”
宗仕刚正为今天的成果而兴奋,不明白路阳为何有此一问,“对啊,8寸硅片生产线最近一直全天开机的。”
众人正要散去,路阳忽然说道:“各位领导,稍等下!”
所有人目光都转向这位年轻的苏硅新老板,路阳说道:“要不我们再生产一批试试?”
“1000份的取样就足够了,再多也不会有太大变化。”一位专家说道。
廖锡昌知道部分内情,也想看下这位投身半导体行业的年轻人,说道:“既然路总说话了,那就再生产一批吧!”
路阳低声对宗仕刚说道:“停止厂里所有生产,再测试一次!”
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